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Captura http://captec.tech 苏州长显平行度测量系统通常包含3至6个位移传感器，这些传感器连接到由具有特定测量要求的广泛应用驱动的全系列放大器。平行度通常称为表面平行度。一些示例：
半导体晶片生产
半导体晶片生产涉及将各种材料顺序沉积到硅晶片衬底上，以实现半导体器件客户指定的电气特性。整个沉积过程在真空室内进行，以消除污染并控制参数。该沉积工艺利用晶片保持板，在该保持板上连续沉积材料层到硅晶片上。为了在沉积发生时实现沉积层的均匀厚度，必须通过精确测量来确认晶片保持板相对于沉积板的平行度。
3点非接触工具的尺寸按比例调整，以适应200mm工艺或300mm工艺。定制设计的工具是Capaciec的专长。我们与客户密切合作，设计和制造OEM质量测量工具。 |
